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詳細介紹
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參數 | 項目 |
ABVT-Z20 |
-Z38 |
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電機類(lèi)型 |
音圈電機 |
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光柵分辨率 |
sin\cos 4.88nm（可選其它更高分辨率） |
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電機推力 |
持續27N/峰值119N |
持續45N/峰值192N |
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最小步長(cháng)[nm] |
10nm(搭配nanopwm或者線(xiàn)性驅動(dòng)器) |
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行程 [mm] |
20 |
38 |
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重復定位精度 [um] |
±50nm |
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定位精度 [um] |
±150nm |
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平面度 [um] |
1um |
1.5um |
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直線(xiàn)度 [um] |
0.5um |
0.7um |
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最大速度 [mm/s] |
50mm/s |
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最大負載 [kg] |
6kg(采用氣動(dòng)恒力彈簧平衡) |
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關(guān)鍵詞:
吉螢光電
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