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MST-XY-110X110工業(yè)測量顯微鏡掃描平臺

所屬分類(lèi):

詳細介紹

 

項目|參數

參數

電機類(lèi)型及驅動(dòng)方式

2相步進(jìn)電機+精密滾珠絲桿

絲桿導程

2mm

行程

110mm x 110mm

重復定位精度

≤±1.5um

定位精度

≤±5um(可補償到±2um)

最小步長(cháng)

0.1um

平面度[um]

≤±4

直線(xiàn)度[um]

≤±2

正交性[arcsec]

≤±3

最大速度[mm/s]

≥30

最大負載[kg]

≥10

結構件材質(zhì)及表面處理

鋁合金硬質(zhì)陽(yáng)極氧化

 

關(guān)鍵詞:

吉螢光電

在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

操作
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