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HEX-S5.10.60-XXX系列六自由位移臺

所屬分類(lèi):

詳細介紹

規格

XY軸

θXθY軸

Z軸

θZ軸

有效行程

±30mm

±2.5deg

±5mm

360deg

電機類(lèi)型

直線(xiàn)電機

步進(jìn)電機

步進(jìn)電機

直驅電機

光柵分辨率

4.88nm(1vpp)

4.88nm(1vpp)

4.88nm(1vpp)

0.04sec

最小步長(cháng)

100nm

0.3sec

100nm

0.1sec

重復定位精度

±0.2um

±1sec

±0.3um

±1sec

定位精度

±1um

±5sec

±1um

±5sec

最大速度

100mm/s

30deg/sec

15mm/s

4rps

最大負載

水平負載10kg,垂直使用負載請聯(lián)系廠(chǎng)家溝通

最大質(zhì)量

整機重量12kg

PS:
1、以上所有精度都為廠(chǎng)家標準控制器在實(shí)驗室環(huán)境中理想條件測試所得
2、接受特殊型號及尺寸定制 

關(guān)鍵詞:

吉螢光電

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